초록
패브리-페로 공진 반사(Fabry-Perot resonant reflection)에 기반한 넓은 대역폭을 갖는 광변조기 및 그 제조 방법를 개시한다. 개시된 구조의 광변조기는, 상부 DBR 층을 구성하는 다수의 굴절률층들의 일부의 두께를 달리하거나 또는 활성층을 구성하는 양자우물층들의 일부의 두께를 달리함으로써, 일정한 광파장 구간에 대해서 반사도를 평탄하게 유지할 수 있다. 따라서, 온도 변화나 제작 공정에서 오는 광변조기의 파장 변동에도 안정된 광변조 특성을 유지할 수 있다. 이러한 광변조기는 3D 카메라 내에서 피사체의 거리를 측정하는 측정 수단의 부품으로서 사용될 수 있다.
대표청구항
굴절률이 서로 다른 두 층이 반복적으로 교호하여 적층된 하부 DBR 층;굴절률이 서로 다른 두 층이 반복적으로 교호하여 적층된 상부 DBR 층; 및상기 하부 DBR 층과 상부 DBR 층 사이에 배치된 것으로, 다중양자우물로 이루어진 활성층을 포함하며,상기 상부 DBR 층은, 광학적 두께가 λ/4(여기서, λ는 활성층에서의 중심 흡수 파장)이고 굴절률이 서로 다른 제 1 굴절률층과 제 2 굴절률층의 쌍을 갖는 층 부분, 및 굴절률이 서로 다른 제 3 굴절률층과 제 4 굴절률층의 쌍을 갖는 변형된 층 부분을 포함하며, 여기서 제 3 굴절률층과 제 4 굴절률층 중에서 적어도 하나는 λ/4와 다른 광학적 두께를 갖고,상기 상부 DBR 층의 상기 층 부분은, 상기 변형된 층 부분 위에 배치되고 제 1 굴절률층과 제 2 굴절률층의 적어도 하나의 제1쌍을 포함하는 제 1 층 부분, 및 상기 변형된 층 부분의 아래에 배치되고 상기 제 1 굴절률층과 제 2 굴절률층의 적어도 하나의 제2쌍을 포함하는 제 2 층 부분을 포함하며,상기 활성층은 제 1 다중양자우물과 제 2 다중양자우물을 가지며, 상기 제 1 다중양자우물은 다수의 제 1 양자우물층들과 다수의 제 1 장벽층들의 쌍들을 포함하고, 상기 제 2 다중양자우물은 다수의 제 2 양자우물층들과 다수의 제 2 장벽층들의 쌍들을 포함하며, 상기 제 1 양자우물층과 제 2 양자우물층은 두께가 서로 다르고,상기 활성층에서의 광의 흡수 대역폭이 동일한 두께를 갖는 양자우물층들로 이루어진 활성층에서의 광의 흡수대역폭보다 넓게 되도록, 상기 제 1 양자우물층들과 상기 제 2 양자우물층들의 각각의 두께가 설정되는 광변조기.
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