본 발명에 따르면, 미세전자기계시스템(MEMS) 기술을 활용하여 대면적 공정에 적합하고 경제성이 있으며, 곡률반경이 큰 저곡률 렌즈로서 높은 채움비와 정밀도를 갖는 마이크로 렌즈 어레이를 제공할 수 있는 제조 방법이 제시된다. 본 발명에 따른 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법은, 석영기판(Quartz)의 양면에 실리콘층(Si)을 형성하고, 상기 실리콘층 (Si)의 표면에 포토레지스트(Photoresist)층(PR)을 형성하고, 상기 포토레지스트층 (PR)을 패터닝하여 PR 마스크 패턴을 형성하고, 상기 PR 마스크 패턴을 활용하여 상기 실리콘층을 건식 식각하여 하드마스크 패턴을 형성하고, 상기 하드마스크 패턴이 형성된 석영기판을 습식 식각하여 균일한 곡률반경 및 새그 높이를 갖는 오목렌즈 형태의 홈 어레이을 형성하고, 다수의 오목렌즈 형태의 홈 어레이가 형성된 석영 기판을 마스터 몰드로 활용하여 볼록렌즈 형태의 마이크로 렌즈 어레이를 복제 성형하는 공정을 포함한다.