실리콘 기판 상에 플라스틱 입자들을 균일한 무작위 패턴으로 서로 이격하여 위치시키는 단계; 상기 플라스틱 입자들 사이에 촉매층을 형성하는 단계; 상기 플라스틱 입자들을 제거하는 단계; 상기 촉매층과 접촉하는 실리콘 기판 부위를 수직적으로 식각하는 단계; 및 상기 촉매층을 제거하는 단계를 포함하는, 실리콘 나노 와이어 어레이의 제조방법이 제공된다.본 발명에 따르면, 공정이 단순하고 비용효과적이며 대면적 공정으로 대량생산이 가능하고 자원제한적인 장소에서도 나노 와이어의 제조가 가능하며, 나노 와이어의 구조를 독립적으로 제어할 수 있다.