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페릴렌 코팅층을 이용하는 ＰＤＭＳ 기반의 유연성 전극 및 그 제조 방법
Flexible Electrode based on PDMS using Parylene Coating Layer and Fabrication Method thereof
출원번호 : 1020110009471 / 20110131
등록번호 : 1012413370000 / 20130304

광주과학기술원 추남선,김소희

초록

페릴렌 코팅층을 이용하는 PDMS 기반의 유연성 전극 및 그 제조 방법이 개시된다. 보다 상세하게는, 본 발명은 PDMS 기판의 상부에 형성되는 페릴렌(parylene) 코팅층 및 페릴렌 코팅층의 상부에 미리 결정된 패턴으로 형성되는 금속 패턴을 포함하는 것으로, 탄성 중합체인 PDMS에 직접 금속을 도포하여 금속 패턴을 생성하는 경우 금속 도포 공정에서 발생하는 에너지에 의해 금속 패턴에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있는 유연성 전극 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

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