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나노코팅 입자 제조를 위한 유동층 원자층 증착 장치
FLUIDIZED BED ALD APPRATUS FOR NANO-COATED PARTICLE
출원번호 : 1020130082895 / 20130715
등록번호 : 1015413610000 / 20150728
광주과학기술원 이재영,정상호,이재광,주형국,김진원


초록

나노코팅 입자 제조를 위한 유동층 원자층 증착 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 유동층 원자층 증착 장치는 피코팅 입자가 내부에 투입되는 유동층 반응기; 유동층 반응기의 내부로 피코팅 입자를 코팅하기 위한 반응 기체들을 공급하는 반응물 공급부; 및 반응 기체들이 경유 가능하도록 유동층 반응기에 결합되는 것으로, 반응 기체들에 규칙적인 진동을 부여하여 유동층 반응기 내부에 난기류를 형성시키는 진동 펌프를 포함한다.


대표청구항
피코팅 입자가 내부에 투입되는 유동층 반응기;
상기 유동층 반응기의 내부로 상기 피코팅 입자를 코팅하기 위한 반응 기체들을 공급하는 반응물 공급부; 및
상기 반응 기체들이 경유 가능하도록 상기 유동층 반응기에 결합되는 것으로, 상기 반응 기체들에 규칙적인 진동을 부여하여 상기 유동층 반응기 내부에 난기류를 형성시키는 진동 펌프를 포함하고,
상기 진동 펌프는 다이어프램 펌프(diaphragm pump) 또는 멤브레인 펌프(membrane pump)이며,
상기 진동 펌프는 팽창 및 수축하여 유체를 흡입하거나 토출하는 다이어프램과, 상기 다이어프램에 설치되는 피스톤과, 상기 피스톤을 구동시키는 구동체, 및 상기 구동체를 내장하는 펌프 챔버를 포함하되,
상기 펌프 챔버에는 유체가 흡입되는 흡입부와 상기 유체가 토출되는 토출부가 형성되어 상기 흡입부 및 상기 토출부에는 유체가 서로 역으로 유동하지 않도록 각각 체크 밸브가 구비되는
유동층 원자층 증착 장치.