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> > > 광음향 신호 측정 장치 및 방법을 개시한다. > 본 실시예의 일 측면에 의하면, 비접촉하여 검사대상으로부터 발생한 간섭신호를 측정함으로써, 광음향신호(Photoacoustic Signal)를 측정하는 장치에 있어서, 상기 검사대상으로 출력할 검사광을 생성하는 제1 광원과 상기 광원으로부터 출력된 검사광을 반사시키는 미러와 상기 광원으로부터 출력된 검사광을 상기 검사대상으로 조사하고, 상기 검사대상으로부터 반사된 광신호를 수신하는 프로브와 상기 광원으로부터 출력된 검사광을 상기 미러 및 프로브로 분기시키고, 상기 미러에서 반사된 광신호와 상기 프로브가 수신한 광신호를 간섭시켜 분기시키는 커플러와 상기 커플러로부터 분기된 간섭신호를 각각 센싱하는 복수의 센싱부 및 각 센싱부가 센싱한 센싱값들로부터 간섭신호의 세기를 측정하는 측정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광음향신호 측정장치를 제공한다. > >
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