본 발명은 크롬층을 레지스트층과 그래핀층 사이에 삽입시켜 잔류층이 남지 않는 대면적의 그래핀 나노리본의 제조방법과 이를 포함하는 수소 센서에 관한 것이다.
본 발명은 그래핀과 포토레지스트 사이에 크롬층을 삽입하여 잔류층 문제를 해결할 수 있다. 본 발명의 그래핀 나노 리본은 100~200nm 사이즈로 구현할 수 있으며, 또한, 대면적으로 나노 패턴을 저비용, 단시간 공정으로 구현할 수 있다.
본 발명에서 제조된 그래핀 나노 리본을 구비하는 센서는 그래핀 표면에 레지스트 등 이물질이 없어 정확성을 높일 수 있으며, 나노 사이즈의 두께와 폭을 가지는 그래핀 리본을 센서의 기반층으로 사용할 수 있어 감도, 반응속도, 반복성 및 복원성이 우수한 센서를 제공할 수 있다.