초미세입자의 포집부와 이온화 영역부 사이에 하나의 광산란 모듈을 장착하여 초미세입자가 도달하는 시점에 이온화 레이저를 정확하게 조사함으로써, 검출 효율이 우수한 초미세입자의 크기-성분 측정 장치 및 크기-성분 측정 방법에 대하여 개시한다.
본 발명에 따른 초미세입자의 크기-성분 측정 장치는 초미세입자가 유입되어 포집되는 포집부; 상기 포집부의 측면에 결합되며, 상기 포집부로부터 이동되는 초미세입자에 연속적으로 레이저를 조사하는 연속발진 레이저 조사부와, 상기 연속발진 레이저 조사부에 의해 상기 초미세입자가 연속발진 레이저 빔을 통과할 때 발생하는 산란광 신호를 검출하는 산란광 검출기와, 상기 산란광을 반사하여 상기 산란광 검출기에 집광되도록 하는 반사판을 포함하는 광산란 모듈; 및 상기 광산란 모듈의 측면에 결합되며, 상기 광산란 모듈로부터 이동되어 상기 산란광 신호의 검출 시간으로부터 초미세입자의 이동 소요시간 후에 도달한 초미세입자에 이온화 레이저를 조사하여 상기 초미세입자를 이온화시키는 이온화 레이저 조사부와, 생성된 이온의 특성을 분석하는 이온 질량분석장치를 포함하는 이온화 영역부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.