- CMP 공정 중 필터를 이용한 슬러리 여과는 웨이퍼 스크래치를 감소시켜 전체 공정의 수율을 증가시킴- 하지만 기존 소수성의 폴리프로필렌 여재를 사용하는 CMP 카트리지 필터는 슬러리가 통과하게 되면 필터 내부의 저항으로 큰 차압이 발생- 특수하게 조합한 물질을 사용…
