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유전박막, 이를 포함하는 멤커패시터, 이를 포함하는 셀 어레이, 및 그 제조 방법
Dielectric layer, memcapacitor manufactured comprising the same, cell array comprising the same, and manufacturing method of the same
출원번호 : 1020190146858 / 20191115
등록번호 : 1022599230000 / 20210527
광주과학기술원 이상한,안현지,양지웅


초록

멤커패시터에 있어서, 금속 도핑된페로브스카이트 조성의 제1 전극, 상기 제1 전극 상의 제2 전극, 및 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 배치되고, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이의 전압에 따라서 다중 유전율을 갖는, 페로브스카이트 조성의 유전 박막을 포함할 수 있다.


대표청구항
Nb도핑된 SrTiO3를 포함하는 제1 전극;
상기 제1 전극 상의 제2 전극; 및
상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 배치되고, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이의 전압에 따라서 다중 유전율을 갖는, 페로브스카이트 조성의 SrMnO3를 포함하는 유전 박막을 포함하는 멤커패시터.

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