열전 성능이 향상된 복합체 박막 구조체 및 그 제조 방법
Composite Thin Film Structure with Improved Thermal Performance and Its Manufacturing Methods
출원번호 : 1020190175756 / 20191226

광주과학기술원 조지영,김완식

초록

열전 성능이 향상된 복합체 박막 구조체 및 제조방법이 제공된다. 상기 복합체 박막 구조체의 제조방법은, 블록 A 및 블록 B를 포함하는 블록 공중합체, 및 나노 와이어를 포함하는 베이스 소스를 준비하는 단계, 기판 상에, 상기 베이스 소스를 제공하여, 복합체 박막을 형성하는 단계, 상기 블록 공중합체에서 상기 블록 B를 선택적으로 제거하는 용매가 기화된 증기를 상기 복합체 박막 상에 제공하여, 상기 복합체 박막 내에서 상기 블록 B의 적어도 일부를 제거하는 단계를 포함할 수 있다.

대표청구항

블록 A 및 블록 B를 포함하는 블록 공중합체, 및 나노 와이어를 포함하는 베이스 소스를 준비하는 단계;
기판 상에, 상기 베이스 소스를 제공하여, 복합체 박막을 형성하는 단계;
상기 블록 공중합체에서 상기 블록 B를 선택적으로 제거하는 용매가 기화된 증기를 상기 복합체 박막에 제공하여, 상기 복합체 박막 내에서 상기 블록 B의 적어도 일부를 제거하는 단계를 포함하는 복합체 박막 구조체의 제조 방법.

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