- 광응용
금속 전사용 도너기판, 금속 전사용 도너기판의 제조방법및 이를 이용한 프린팅 방법
Metal Transfer Donor Substrate, Method of manufacturing Metal Transfer Donor Substrate and Method for Printing using the same
출원번호 : 1020080016064 / 20080222
등록번호 : 1009423450000 / 20100205
초록
미세 패터닝을 수행하기 위한 금속 전사용 도너 기판 및 이를 이용한 금속 패턴 형성 방법이 개시되어 있다. 돌출부를 갖는 도너 기판, 돌출부 상에 위치하는 릴리징층 및 릴리징층 상에 위치하는 전이 금속막을 갖는 금속 전사용 도너 기판을 억셉터 기판 상에 배치시키는 단계, 돌출부 상에 형성된 전이 금속막을 억셉터 기판 상에 접촉시키는 단계 및 접촉된 전이 금속막을 억셉터 기판 상에 전사시키는 단계를 포함한다. 따라서, 릴리징층을 형성함으로써 낮은 온도에서도 패터닝을 수행할 수 있다.
대표청구항
돌출부를 갖는 도너 기판;
상기 돌출부 상에 위치하는 릴리징층;
상기 릴리징층 상에 위치하는 희생 금속막; 및
상기 희생 금속막 상에 위치하는 전이 금속막을 포함하는 금속 전사용 도너 기판.
대표이미지
