LIBS 측정이 가능한 고분해능 레이저 가공장치
High Resolution Laser Processing Unit with LIBS Measurements
출원번호 : 1020200021749 / 20200221
등록번호 : 1022952800000 / 20210824

광주과학기술원 정성호,신성호,장인석,문영민

초록

LIBS 측정이 가능한 고분해능 레이저 가공장치를 개시한다. 본 실시예의 일 측면에 의하면, 레이저 광을 조사하는 광원과 상기 광원에서 조사된 레이저 광을 복수 개로 분리하여, 분리된 레이저 광 중 일부의 경로와 초점거리를 가변하는 광학계와 상기 광학계를 거쳐 전달되는 복수의 레이저 광을 가공할 샘플이 위치한 방향으로 포커싱시키는 대물렌즈 및 상기 샘플로부터 발생하는 분광신호를 측정하는 측정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치를 제공한다.

대표청구항

레이저 광을 조사하는 광원;
상기 광원에서 조사된 레이저 광을 복수 개로 분리하여, 분리된 레이저 광 중 일부의 경로와 초점거리를 가변하는 광학계;
상기 광학계를 거쳐 전달되는 복수의 레이저 광을 가공할 샘플이 위치한 방향으로 포커싱시키는 대물렌즈; 및
상기 샘플로부터 발생하는 분광신호를 측정하는 측정부를 포함하되,
상기 광학계는,
분리된 레이저 광 중 일부가 발생하는 플라즈마로 포커싱되도록 초점거리를 가변하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.

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