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기 술 명
간섭계를 이용한 이미지 생성 시스템과 그 방법, 및 상기 방법을 구현하는 프로그램이 기록된 기록매체
연 구 자
이병하(정보통신공학부)
등록번호
10-1080376-00-00
출원번호
10-2009-0038322
문 의 처
문희곤062-715-3077hgmoon@gist.ac.kr
발명정보

본 발명은 광학 간섭계를 이용하여 시료의 이미지를 생성하는 시스템과 그 방법을 개시한다. 본 발명은 광을 발생시키는 광원; 광원을 점멸 구동시키는 광원 변조부; 광원 점멸에 따라 발생된 광을 기준단과 시료가 구비된 샘플단으로 분배시키는 광 분배부; 기준단을 이송시키는 기준단 이송부; 및 기준단이 이송될 때마다 분배된 광이 기준단과 샘플단으로부터 반사된 뒤 광 분배부에서 재결합되면 재결합된 광으로부터 검출되는 간섭 이미지를 검출하는 이미지 획득부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 생성 시스템을 제공한다. 본 발명에 따르면, 단축을 통하여 연속적으로 스캔하는 것이 가능하며, 기준단을 이송시키는 장치를 통해 고속으로 3차원 이미징을 구현할 수 있다. 또한, 이미징을 통해 획득된 이미지의 해상도가 저하되는 것을 방지할 수 있다.

발명효과

본 발명에 따르면, 간섭계를 구성하는 기준단과 샘플단 간의 광경로 차이에 따라 발생하는 간섭광의 세기 변화를 고려하여 광점멸을 수행하며 광점멸을 통한 광원 변조를 기반으로 3차원 이미징을 구현함으로써 다음 효과를 얻을 수 있다. 첫째, 단축을 통하여 연속적으로 스캔하는 것이 가능하며, 기준단을 이송시키는 장치를 통해 고속으로 3차원 이미징을 구현할 수 있다. 둘째, 단축 연속 스캔을 통하여 시료의 형태학적 구조나 형상학적 구조를 효율적으로 복원할 수 있으며, 복원 시간도 크게 단축시킬 수 있다. 즉, 3차원 이미징 성능을 크게 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면, 중심파장이 동일한 광원을 구비하는 다른 간섭계를 이용하여 광원 변조 신호를 실시간으로 보정시킴으로써 다음 효과를 얻을 수 있다. 첫째, 상기 신호를 통해 실시간으로 보정을 수행함으로써 획득된 이미지의 해상도가 저하되는 것을 방지할 수 있다. 종래 기술에 따르면 비선형적이며 기계적인(mechanical) 스캔에 의해서 도플러 신호가 임의적으로 변화되며, 이에 따라 간섭 성분이 감소하는 현상이 발생한다. 본 발명은 이러한 현상을 방지하기 위해 실시간으로 보정을 수행하며, 이로부터 획득된 이미지의 해상도가 저하되는 것을 방지할 수 있다. 둘째, 실시간 보정을 통해 보다 효율적이면서 안정적으로 3차원 이미징을 구현할 수 있다. 세째. 고속 스캔의 자동화가 가능하다. 즉, 이미징 스캔 속도를 증가시킬 경우, 도플러 주파수 증가로 인해 광점멸 신호 주파수에 대한 조작이 필수적인데, 본 발명에서는 이러한 작업이 수동 조작 없이도 실시간 자동 제어가 가능하다. 따라서 임의의 스캔 속도에서도 실시간 고속 이미징을 수행할 수 있다.

대표청구항

광을 발생시키는 광원; 상기 광원을 점멸 구동시키는 광원 변조부; 상기 광원 점멸에 따라 발생된 광을 기준단과 시료가 구비된 샘플단으로 분배시키는 광 분배부; 상기 기준단을 이송시키는 기준단 이송부; 및 상기 기준단이 이송될 때마다 상기 분배된 광이 상기 기준단과 상기 샘플단으로부터 반사된 뒤 상기 광 분배부에서 재결합되면 상기 재결합된 광으로부터 검출되는 간섭 이미지를 검출하는 이미지 획득부 를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 생성 시스템.