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기 술 명
금속 산화물 박막재료의 심자외선 저온 광결정화 공정
연 구 자
윤명한(신소재공학부)
문 의 처
문희곤062-715-3077hgmoon@gist.ac.kr
소개자료
기술개요

- 심자외선을 통한 기능성 금속 산화물 박막(Metal oxide thin film)의 광활성 저온 결정화(Photo-activation low temperature crystallization) 및 결정상 전환 공정에 관한 기술임

- 광활성 저온결정화 공정 기술은 산화물 재료의 내/외적 물리화학적 결정화 반응 활성을 촉진시키며, 이는 산화물 재료의 효율적인 결정화/상전이 등의 다양한 효과를 유도하는 것이 가능함

기술의 특징/우수성

- 종래의 보고된 산화물 박막 재료의 결정상 형성 공정 온도(Crystallization temperature)보다 낮은 온도에서 효율적인 결정화를 구현함

- 박막 소재와 광화학 활성화 반응에 따라 새로운 산화물 결정상 전환을 구현함

- 기존에 보고된 특수한 공정 조건(초고온/고압, Epitaxial 기판 등)이 없이 제조할 수 있음

- 산화물 박막 재료의 다양한 특성과 성능을 유도하는 결정 미세조직구조를 넓은 범위에서 조절할 수 있게됨

주요기능/사양

- 기능성 산화물 박막 소재의 광화학 반응 활성화

- 산화물 박막 소재의 광활성 친핵 생성 촉진 및 산소 결함 유도

- 에너지 고효율 자외선 램프 및 공정 조건 변수를 통한 광화학 활성화 반응 촉진

응용분야

- 기능성 금속 산화물 박막 공정 및 개질화

- 디스플레이/전자/에너지/촉매 분야 등